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什麼是無塵車間,無塵空間控制溫度濕度到底有什麼作用

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什麼是無塵車間,無塵空間控制溫度濕度到底有什麼作用

發布日期:2016-11-08 09:46 來源:http://www.cm-punk.org 點擊:

重慶通風管道】按照國際慣例,無塵淨化級别主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分标準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個标準中符合灰塵标準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會産生非常大的負面影響,所以在光學構造産品的生産上,無塵是必然的要求。

  每立方米将小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵标準的A級。目前應用在芯片級生産加工的無塵标準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高标主要被應用在一些等級較高芯片生産上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以内,這也就是業内俗稱的1K級别。

無塵車間為什麼要控制溫濕度?主要作用是什麼,具體有什麼措施?

  無塵車間的溫濕度主要是根據您的加工工藝要求來确定,在滿足加工工藝的條件下,首選應該考慮人的舒适感。随着空氣潔淨度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生産的光刻曝光工藝中,作為掩膜闆材料的玻璃與矽片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的矽片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以後,對産品将有污染,特别是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。 濕度過高産生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生鏽。

  然而對于大部分潔淨空間,為了防止外界污染侵入,需要保持内部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:

1.潔淨度級别高的空間的壓力要高于相鄰的潔淨度級别低的空間的壓力。

2.相通潔淨室之間的門要開向潔淨度級别高的房間。

3潔淨空間的壓力要高于非潔淨空間的壓力。【重慶通風管道】

  壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏洩掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏洩(或滲透)風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。

  對于亂流潔淨室 由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室内污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室内氣流速度也有如下要求;

1.送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。

2.吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大幹0.2m/s。

在我國,《空氣潔淨技術措施》和<潔淨廠房設計規範))都是這樣規定的

垂直平行流(層流)潔淨室≥0.25m/s

水平平行流(層流)潔淨室≥0.35 m/s

重慶通風管道

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